Преглед производа
Аутоматска РТП опрема компатибилна са плочицама од 8-12 инча, са дизајном са једним/двоструким-шупљинама и посебно дизајнирана за масовну производњу. Интегришући роботе и друге компоненте, постиже потпуно аутоматизовано пуњење, жарење и хлађење плочице. Може да се повеже са системима управљања производњом и подржава различите процесе за једну бачву. Са прецизном контролом температуре и стабилним радом (стопа ломљења плочице мања или једнака 1/10000), укључује вишеструке сигурносне заштите и погодна је за процесе жарења високе прецизности у полупроводницима и другим пољима.
Карактеристике
Имамо опције опреме које покривају различите ширине и број комора, а све пружају доследне перформансе у свим кључним параметрима.
Функционише и са подешавањима отворене касете и са СМИФ-ом, управљајући целим процесом аутоматски-од мапирања и поравнања до преноса плочице, жарења и хлађења.
Софтвер вам омогућава да изаберете унапред подешене рецепте прилагођене појединачним облатнама у истој касети, док сте у току са ажурирањем-статуса обраде у реалном времену.
Овај потпуно аутоматизовани систем се неприметно интегрише са вашом постојећом ЕАП/МЕС инфраструктуром ради лакше координације тока посла.
Током инсталације и отклањања грешака, наши-инжењери након продаје ће бити на-локацији да би пружили практичну-подршку и решили све проблеме који се појаве.
Предности
- Користећи двоструке инфрацрвене халогене лампе за грејање, заједно са брзим хлађењем азотом, систем се може похвалити ефикасном и стабилном топлотном циркулацијом.
- Наменски дизајн груписаних лампи обезбеђује равномернију температуру у целој области обраде.
- Уграђени-алгоритам ПИД контроле омогућава-подешавање снаге лампе у реалном времену, одржавајући прецизну контролу температуре током целог процеса.
- Три{0}}управљање корисничким приступом на три нивоа обезбеђује практичну и безбедну контролу информација. Главни софтверски интерфејс приказује кључне параметре као што су проток гаса, температура и ниво вакуума у реалном времену, пружајући јасан преглед статуса.
- Систем аутоматски чува све податке{0}}у вези са процесом ради лакшег будућег праћења.
- Поседује свеобухватан механизам заштите од аномалија који одмах активира заштиту након откривања квара, укључујући прегревање (водом{0}}хлађена комора од алуминијумске легуре већа од или једнака 70 степени), абнормална очитавања термопарова, ненормалну снагу грејања, откључана врата пећи, превелики проток воде, недовољан проток воде, недовољан проток воде.
- Функција заустављања у нужди се може активирати једним дугметом, одмах прекидајући све процесе и искључујући извор топлоте.
Параметерс
|
Модел |
РТП-200 |
РТП-300 |
|
Величина облатне |
8 инча и испод 12 инча и испод |
8 инча и испод 12 инча и испод |
|
Цхамбер Нумбер |
1 |
2 |
|
Учитајте број касете |
2 |
2 или 3 |
|
Лоад Цассетте Метод |
СМИФ или отворена касета |
|
|
Величина |
1600мм×2450мм×2200мм (W×D×H) |
2100мм×2450мм×2200мм (W×D×H) |
|
Температурни опсег |
РТ ~ ~ 800 степени (контролисано термокопом) 500 степени ~1250 степени (контролисано пирометром) |
РТ ~ ~ 800 степени (контролисано термокопом) 500 степени ~1250 степени (контролисано пирометром) |
|
Максимална брзина грејања |
150 степени /с---Само облатне 20 степени /с---СиЦ носач 30 степени /с --- Графитни носиви премаз СиЦ |
150 степени /с---Само облатне 20 степени /с---СиЦ носач 30 степени /с --- Графитни носиви премаз СиЦ |
|
Уједначеност температуре |
Мање или једнако ±3 степена @ Мање или једнако 600 степени Мање или једнако ±0,5% @ >600 степени |
Мање или једнако ±3 степена @ Мање или једнако 600 степени Мање или једнако ±0,5% @ >600 степени |
|
Температурна поновљивост |
±1 степен |
±1 степен |
|
Број лампи/СЦР |
33 комада / 10 ком |
45 комада / 16 ком 55 комада / 24 ком |
|
Мак МФЦ |
6 |
6 |
|
Најнижи притисак |
30мТорр |
30мТорр |
|
Леак Рате |
10мТорр/мин |
10мТорр/мин |
|
O2Проценат |
<1 ппм |
<1 ппм |
|
Аутоматски |
ОЦР+Робот (Дуал Арм)+Прсти (Вакум/Берноулли)+Алигнер+Расхладна станица |
|
|
ВПХ (предвиђање) |
5 |
|
|
Уптиме |
＞92% |
|
|
Средње време за чишћење (МТТЦ) |
Мање или једнако 6 сати |
|
|
Средње време за поправку (МТТР) |
Мање или једнако 4 сата |
|
|
Средње време између кварова (МТБФ) |
Веће или једнако 200 сати |
|
|
Средње облатне између лома (МВББ) |
Мање или једнако 1 на 10.000 облатни |
|
|
макс./просечна снага |
90/ 60 Кв(АТС-8) 100/ 80 Кв(АТС-12) |
180/ 120 Кв(ДТС-8) 200/ 160 Кв (ДТС-12) |
|
Волтаге |
380В/ 60ХЗ/ 3 фазе 5 жице |
380В/ 60ХЗ/ 3 фазе 5 жице |
|
Контролни метод |
ПЦ Цонтрол |
ПЦ Цонтрол |
ФАК
Да ли је аутоматска РТП опрема компатибилна са плочицама од 8/12 инча? Да ли повећање производње до 12 инча захтева замену опреме?
Потпуно компатибилан. Повећање захтева само подешавања софтверских параметара; није потребна замена опреме, смањујући трошкове.
Може ли се интегрисати са постојећим ЕАП/МЕС системима? Да ли ће то утицати на производну линију?
Могућа је беспрекорна интеграција. Инжењери ће обезбедити-отклањање грешака на локацији, побољшавајући ефикасност и доследност производне линије.
Могу ли се различити процеси подесити за исту бачву? Да ли је операција компликована?
Подржава „више процеса по бачви“. Софтверски интерфејс омогућава лак избор и подешавања, не захтевајући додатну обуку.
Да ли постоји сигурносна заштита у хитним случајевима? Да ли ће то оштетити плочице или повредити особље?
Има заустављање у нужди и аутоматску заштиту за детекцију ризика како би заштитио и плочице и особље.
Цертифицатион
◆ Сертификација усаглашености СЕМИ С2
Popularne oznake: аутоматска ртп опрема, произвођачи аутоматске ртп опреме у Кини, добављачи
