Магнетронски уређаји за распршивање су окосница ПВД технологије-сви наша три модела постављају врхунске-металне, диелектричне и полупроводничке филмове, али су направљени за различите послове. Ако се чешете о томе који од њих одговара, овај водич га једноставно разлаже, на основу тога ко их користи и за шта се користе.
За кога је сваки модел?
Индустријски једнокоморни{0}}модел: Направљен за велике произвођаче полупроводника који искључују ЦМОС/ИГБТ и друга интегрисана кола. Овим тимовима је потребан стабилан учинак, ниски трошкови рада и опрема која је лако одржавати-нешто што ће без проблема ући право у њихове производне линије за масовну производњу.
Индустријски више{0}}коморни модел: Идеално за{0}}произвођаче врхунских електронских уређаја фокусиране на 5Г или оптоелектронику. Они се баве сложеним вишеслојним-филмовима у великом обиму, тако да се о аутоматизацији, прецизности и чистој обради (без контаминације ручним корацима) не може преговарати-.
Истраживање-Модел оцене: Савршено за универзитете, лабораторије и нова предузећа. Људи овде тестирају мале серије-мислим на прототипове силицијум карбида или квантног чипа-тако да им је потребна флексибилност за подешавање подешавања и одржавање трошкова истраживања и развоја под контролом.
За шта се користе?
Индустријски једнокоморни{0}}модел: Сјаје у масовној-производњи стандардних филмова на 8-инчним (или мањим) плочицама. Брз је, доследан (уједначеност филма остаје испод ±3%) и ефикасно користи циљеве за смањење трошкова. Одлично ради са силицијумом, једињењима, керамиком - свим основним елементима индустријске производње.
Индустријски више{0}}коморни модел: Решава тешке ствари: велику-производњу сложених вишеслојних-филмова за 5Г и оптоелектронске уређаје. Његове модуларне, аутоматизоване коморе повећавају ефикасност, док напредна контрола честица одржава филмове ултра-чистим. Одговара на плочице од 6-8 инча и добро се игра са силицијумом, једињењима и још много тога.
Истраживање-Модел оцене: Игралиште за истраживање и развој. Подржава једно-циљно, више-упоредно или ко{3}}распршење-одлично за тестирање метала (Ал, Ау, Цу), диелектрика (СиО₂, ТаН) и полупроводника. Има прецизну контролу температуре (РТ-600 степени, грејање/хлађење) и мале-серијске обраде ради уштеде на пробном раду, као и опционе додатке као што су коморе за предвакум.
Брзи избор: 3 једноставна корака
Почните са својим главним циљем: масовна производња? Иди индустријски. Р&Д? Узмите истраживачки модел.
Сузите то: Стандардни филмови/8- масовна производња плочице → једнокоморна-. Комплексни више-слојни филмови → више-коморни. Флексибилно мало-серијално тестирање → истраживање.
Двапут-проверите кључне детаље: величину плочице (максимално 8-инча за појединачну/истраживачку, 6-8 инча за више-коморну), компатибилност материјала (сви подржавају ствари које нису-силиконске као што су керамика или метал) и надоградње (више-модели са више-модела за једнокреветне коморе/решетке, могу да се додају модели напред).
