Преглед производа
Наша вертикална цев за пећ је специјализовано решење за термичку обраду направљено за производњу сложених полупроводника и оптоелектронске производње. Дизајниран је да испоручи конзистентна, поновљива термичка окружења за критичне процесе плочице, комбинујући робустан механички дизајн са прецизном контролом температуре и гаса како би подржала-производњу великих количина са тесним прозорима процеса.
Предности
Стабилне, поуздане перформансе: Систем је дизајниран за дуготрајан-рад са малим-застојима, са доследном топлотном униформношћу и поновљивошћу процеса који помаже у одржавању високих приноса током производних циклуса.
Снажне мере заштите: Вишеслојни систем сигурносне блокаде континуирано прати температуру, притисак и услове гаса, аутоматски реагујући на аномалије како би заштитио оператере, плочице и опрему.
Интуитиван, ефикасан рад: Интерфејс и ток посла су поједностављени како би се смањило време обуке и људске грешке, док оптимизовани циклуси учитавања и процеса побољшавају укупну пропусност и лакоћу одржавања.
Флексибилна покривеност процеса: Компатибилан са 6-инчним и 8-инчним плочицама, држе до 150 комада по вожњи и раде од 400 степени до 1250 степени, што га чини погодним за широк спектар термичких корака у модерној производњи уређаја.
Апликације
Ова вертикална цев за пећ подржава читав низ термичких процеса који се користе у производњи полупроводника и оптоелектроника:
Оксидација: формирање-квалитетних диелектричних слојева на површинама плочице
Жарење: ублажавање стреса, поправљање дефеката и подешавање електричних својстава материјала
Легирање: подешавање састава и перформанси танкослојних{0}}легура
ПИ очвршћавање: умрежавање полимера и стабилизација за слојеве полиимида
Таложење танког{0}}филма: Поли, ТЕОС, СиН, ХТО и други кључни процеси раста филма
ФАК
П: 1. Шта је вертикална цев за пећ?
О: Вертикална цев за пећ је високо{0}}опрема за термичку обраду високе{0}}е за производњу полупроводника и оптоелектронске, која се користи за оксидацију, жарење, легирање, ПИ очвршћавање и таложење танког филма.
П: 2. За које процесе се користи вертикална цев пећи?
О: Подржава оксидацију, жарење, легирање, ПИ очвршћавање, поли, ТЕОС, СиН, ХТО и друге процесе раста танког филма.
П: 3. Које величине плочице и температурни опсег подржава?
О: Подржава облатне од 6 инча и 8 инча (до 150 комада по серији) са температурним опсегом процеса од 400 степени до 1250 степени.
П: 4. Које су кључне предности ове вертикалне цеви за пећ?
О: Висока поузданост и стабилност, комплетан систем сигурносне блокаде, рад прилагођен кориснику, висока ефикасност и одлична униформност процеса.
П: 5. Да ли је лако руковати и одржавати?
О: Да, има једноставан интерфејс, поједностављен ток посла и ниске захтеве за одржавањем.
П: 6. Може ли се прилагодити специфичним процесима?
О: Да, нудимо прилагођавање за температуру, гасне системе, процесне рецепте и методе пуњења како би се задовољиле посебне потребе.
Popularne oznake: вертикална пећ за термичку обраду, произвођачи пећи за вертикалну термичку обраду Кине, добављачи
