Преглед производа
Наша ИЦП Етцхер серија (Индуктивно спојена плазма Етцхер) је врхунско-решење за суво нагризање направљено за високо{1}}прецизну микрофабрикацију-савршено за напредне полупроводничке и микроелектронске радове. Ослања се на технологију индуктивно спрегнуте плазме за испоруку чврсте густине плазме, поуздану контролу процеса и широку прилагодљивост материјала. Ове функције истовремено испуњавају тешке захтеве производње уређаја следеће{5}}гене, истраживања материјала и индустријске производње. Упарили смо иновативно генерисање плазме са прецизним подешавањем параметара и флексибилним опцијама конфигурације, омогућавајући корисницима да изведу гравирање високог-односа-које има мало оштећења и доследно у целости. Заиста је постао{10}}алат за напредовање микро-нано обраде.
Апликације
1. Производња полупроводника и ИЦ: Предњи-узорак транзистора, ТСВ (кроз-силиконски Виа) гравирање и напредни рад на паковању – врста основних процеса који одржавају производњу ИЦ-а на правом путу.
2. Сложени полупроводнички уређаји: Изградња енергетске електронике засноване на ГаН-у, ГаАс/ИнП оптоелектронике (мислимо на ЛЕД диоде, ласере, фотодетекторе) и СиЦ енергетских уређаја за апликације високих{2}}перформанси.
3. МЕМС и микрофлуидика: гравирање структуре високог{1}}односа-односа, скројено за микро-сензоре, актуаторе и дијагностичке микрофлуидне чипове.
4. 2Д материјал и нанотехнологија: прецизно гравирање и обликовање 2Д материјала (графен, МоС₂) – супер корисно за електронске уређаје следеће{2}}гене и нано{3}} истраживачке пројекте.
Предности
- Уни-концепт дизајна каросерије: -штампа стопала изванредна (реф. 1,0м* 1,5м)
- Комплети за пројектовање процеса у зависности од захтева: Боље перформансе процеса
- Облога коморе, контрола температуре електроде: Погодно за различите процесне примене
- Подесив јаз за пражњење плазме: Подешава се као параметар зависно
- Оријентација цене или перформанси опциона: РФ, пумпа, вредности итд. у зависности од захтева
- Специјализација за плазму: плазма технологија мале снаге, оштећење јонима-бесплатно
- Опционо руковање узорком: Отвори-Учитај или Учитај-Закључај
Параметерс
|
Спецификација |
Параметерс |
|
Распон величина вафла |
4,6,8,12 инча или више{4}}вафера по избору |
|
Етцхинг Материалс |
На бази Си-(Си/СиО2/ СиНк/ СиЦ/кварц итд.), |
|
Вакуум |
ТМП & механичка пумпа |
|
РФ Повер |
Извор 1000-3000В, Биас 300-1000В, опционо |
|
Гас Систем |
5 линија (Стандард) и Хе бацксиде хлађење, или |
|
Вафер Стаге |
Од -70 степени до 200 степени, опционо |
|
Не-уједначеност |
Мање од ±5% (изузимање ивице) |
ФАК
Које основне предности нуди ИЦП Етцхер у поређењу са традиционалном опремом за гравирање?
Одликује га висока густина плазме (10¹¹–10¹² цм⁻³) за брже нагризање (до 10.000 А/мин) и двоструку независну РФ контролу (извор + пристрасност), омогућавајући прецизно подешавање густине плазме и енергије јона. Овим се постиже супериорна анизотропија, ултра-ниска оштећења јона и неуједначеност урезивања-<±3%, outperforming traditional etchers in high-precision and complex process scenarios.
Са којим величинама и материјалима је ИЦП Етцхер компатибилан?
Подржава обраду једне плочице од 4/6/8/12-инча-или више-вафера, са прилагодљивим фазама узорка за посебне подлоге. Обухваћени материјали укључују Си на бази Си (Си/СиО₂/СиНₓ/СиЦ), сложене полупроводнике (ГаН/ГаАс/ИнП/Га₂О₃), 2Д материјале (графен/МоС₂/БН), метале (В/Та/Мо), дијамант и полимере.
Може ли се опрема прилагодити специфичним процесним потребама?
Да, нуди флексибилне конфигурације: опционо Отворено-Учитавање/Учитавање-Закључавање руковања узорцима, 4–8 проширивих гасних водова, прилагодљиви опсег РФ снаге, -70 степени до 200 степени контрола температуре ваферске фазе и додаци-као што је ин-ОЕС на лицу места за надгледање крајњих тачака. Доступне су верзије оријентисане на цену или перформансе које одговарају захтевима истраживања или масовне производње.
Које су типичне перформансе гравирања (однос ширине и висине, селективност, квалитет бочне стране)?
Постиже размере до 30:1, селективност (нпр. СиО₂/Си) до 150:1 и стрмину бочне стране већу од или једнаку 89 степени, што га чини идеалним за гравирање структуре високог{7}}односа{8}} у МЕМС, ТСВ и напредним полупроводничким уређајима.
Који вакуум систем користи опрема и колико је стабилан?
Опремљен је комбинацијом ТМП турбомолекуларне пумпе + механичке пумпе, достижући основни притисак мањи од или једнак 5×10⁻⁷ Торр и прецизном контролом притиска процеса (1–1000 мТорр преко МФЦ), обезбеђујући конзистентну стабилност плазме и квалитет нагризања.
Да ли је ИЦП Етцхер погодан за обраду осетљивих материјала са мало{0}}оштећења?
Да, нуди опциони плазма режим ниске{0}}пристраности који минимизира оштећење јонског бомбардовања, чинећи га компатибилним са 2Д материјалима, ломљивим оптоелектронским уређајима и полупроводницима високих{2}}перформанси који захтевају очување површинског интегритета.
За које сценарије примене је опрема дизајнирана?
Широко се користи у производњи полупроводника/ИЦ (транзисторски узорци, ТСВ гравирање), сложених полупроводничких уређаја (ГаН енергетска електроника, ЛЕД ласери), МЕМС/микрофлуидици, истраживању 2Д материјала и обради биомедицинских уређаја (модификација површине имплантата).
Који су просторни и комунални захтеви за инсталацију?
Компактни интегрисани дизајн има отисак од ~1,0м×1,5м. Захтеви за комуналне услуге обухватају стандардно напајање, расхладну воду, чист сув ваздух и издувни систем-детаљне спецификације су дате у упутству за пре-инсталацију за припрему локације.
Каква је{0}}подршка и обука након продаје?
Нудимо-инсталацију, пуштање у рад и обуку о прилагођеном процесу. Глобални тим за техничку подршку пружа 24/7 даљинску помоћ, са набавком резервних делова и редовним услугама одржавања како би се минимизирали застоји.
Како ИЦП Етцхер балансира трошкове и перформансе за различите кориснике?
Пружа две оријентације конфигурације: оријентисане на трошкове{0}}градње са основним основним компонентама за лабораторијска истраживања и опције-оријентисане на перформансе (високе-РФ снаге, напредни модули за праћење) за индустријску масовну производњу-обезбеђујући оптималну исплативост-за различите потребе корисника.
Popularne oznake: ицп еццхер, Кина ицп еццхер произвођачи, добављачи
