Преглед производа
Нице-Тецх нуди два наменска система за гравирање силикона за различите величине плочице, оба заснована на ИЦП технологији и прилагођена за масовну производњу ИЦ.
12-инчни систем (СЕС-12)
Фокусира се на 12-инцх фронт енд- процесе (ФЕОЛ). Састоји се од ИЦП комора за гравирање и модула за пренос, покрива силиконско гравирање, диелектрично јеткање, јеткање на капији, В удубљење и САДП, дизајнирано за високо прецизно обликовање логичких и меморијских уређаја.
8-инчни систем (СЕС-8)
Вишекоморни систем-за фабрике од 8- инча, усредсређен на процесе капије. Обезбеђује мање од или једнако 5% унутар -уједначености нагризања плочице и плочице-, одличну контролу честица и подржава АА, СТИ, одстојник и В удубљење.
Предности
Широка покривеност процеса
Овде имамо две главне поставке. Систем од 12 инча преузима све врсте ФЕОЛ процеса, без проблема. Што се тиче оног од 8 инча? Фокусиран је на капију и сродне процесе и савршено се уклапа са чворовима од 0,11 μм и више.
Висока прецизност и стабилност
Прецизност је место где ови системи блистају. Модел од 12-инча испоручује врхунску-уједначеност и селективност урезивања – управо оно што напредни процеси захтевају. Верзија од 8 инча такође има своје: ниско одступање униформности, плус строга контрола честица, тако да можете рачунати на доследне резултате.
Масовна-производња и трошковна{1}}ефикасност
Најбоље од свега, оба су спремна за масовну производњу. 12-инча је направљено за велике-производне линије, што има смисла за велике-производње. Међутим, 8 инча је паметан избор ако надоградите капацитет - штеди и простор и трошкове, што је увек плус за операције.
Апликација
ИЦ ФЕОЛ Производња
12-инчни систем за 12-инчне логичке/меморијске ФЕОЛ процесе; 8-инчни систем за гравирање 8-инчних капија.
Напредни процеси
12-инчни систем подржава САДП/В удубљење; 8-инчни систем ради за СТИ/спацер процесе.
Цапацити Упграде
12-инча се интегрише у велике фабрике; 8-инча пружа економичну подршку за средње-мале фабрике.
Параметерс
|
Категорија |
12-инчни систем за гравирање силикона |
8-инчни систем за гравирање силикона |
|
Компатибилност вафла |
12-инчни (300мм) ИЦ плочице, прилагођене за линије масовне производње |
8-инчне ИЦ плочице; компатибилан са 0,11μм и напредном технологијом чворова |
|
Цхамбер Цонфигуратион |
ИЦП коморе за гравирање + модул за пренос |
ИЦП коморе за јеткање + модул за пренос; дизајн са више-комора за масовну производњу |
|
Кључне могућности процеса |
Силиконско гравирање, диелектрично гравирање, гравирање капија, В удубљење, САДП |
Нарезивање капија, АА, СТИ, одстојник, В удубљење |
|
Етцх Униформити |
Супериорна контрола униформности (задовољава напредне стандарде прецизности чворова) |
Мање или једнако 5% унутар-вафера; Мање од или једнако 5% облатне-на-вафела |
|
Партицле Цонтрол |
Строга контрола честица за висок принос производа |
Одлична контрола честица за стабилну масовну производњу |
|
Индустриал Цомплианце |
Погодно за производњу ИЦ од 12-; у складу са стандардима за масовну производњу полупроводника |
Независан оптимизован дизајн; одговара великом простору од 8 инча и захтевима трошкова за надоградњу капацитета |
ФАК
П: Које величине плочице подржавају ова два система?
О: Систем од 12 инча подржава ИЦ плочице од 12 инча (300 мм), а систем од 8 инча подржава ИЦ плочице од 8 инча.
П: Које основне процесе покривају?
О: Систем од 12 инча покрива силиконско гравирање, диелектрично гравирање, САДП, В удубљење, итд.; систем од 8 инча се фокусира на гравирање капије и подржава СТИ, одстојник итд.
П: Са којим технолошким чворовима су компатибилни?
О: Систем од 12 инча прилагођава се чворовима напредне технологије; 8-инчни систем је компатибилан са напредним чворовима од 0,11 μм и више.
П: Да ли су оба система погодна за масовну производњу?
О: Да. Систем од 12-инча одговара великим-производним линијама, док систем од 8-инча штеди простор и исплатив за масовну производњу.
П: Која је униформност гравирања 8-инчног система?
О: Има мање од или једнако 5% у оквиру-уједначености плочице и мање од или једнако 5% уједначености плочице-према-вафелу.
Popularne oznake: систем за гравирање силикона, произвођачи, добављачи система за силиконско гравирање у Кини
